粉体行业在线展览
冰刻微纳加工系统
面议
西湖仪器
冰刻微纳加工系统
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“冰刻”是使用“冰胶”替代光刻胶完成微纳加工的电子束光刻技术。在零下140度左右的真空环境下,“冰”能够在平面或立体表面形成均匀“薄膜”,结合一体化集成电子束加工镀膜、刻蚀等工艺流程,可实现三维结构加工、立体表面加工、敏感材料加工等应用。
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