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冰刻微纳加工系统

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西湖仪器(杭州)技术有限公司

浙江

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品牌:

西湖仪器

型号:

冰刻微纳加工系统

关注度:

195

产品介绍

“冰刻”是使用“冰胶”替代光刻胶完成微纳加工的电子束光刻技术。在零下140度左右的真空环境下,“冰”能够在平面或立体表面形成均匀“薄膜”,结合一体化集成电子束加工镀膜、刻蚀等工艺流程,可实现三维结构加工、立体表面加工、敏感材料加工等应用。image.png

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