半导体行业专用仪器-12吋快速热处理设备 RTP-XPEED-IDP-盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司-产品详情

12吋快速热处理设备 RTP-XPEED-IDP

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品牌：

盛吉盛

型号：

12吋快速热处理设备 RTP-XPEED-IDP

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低压ISSG设备因其超高的薄膜质量及1/100 纳米的膜厚控制精度广泛应用于40、28nm以及28nm以下栅极氧化物和浅槽隔离 liner的生长；解耦等离子体氮化及退火工艺可以降低栅极漏电密度并改善NBTI特性，也在先进的逻辑和存储技术前道工艺中得到应用。

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