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PEALD-D 等离子增强型原子层沉积系统

PEALD-D 等离子增强型原子层沉积系统

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面议

品牌：

嘉兴科民

型号：

PEALD-D 等离子增强型原子层沉积系统

关注度：

17

产品介绍

PEALD系列原子层沉积系统是专门为先进半导体工艺开发的薄膜沉积系统，已在国内高校和科研院所装机超百台。

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PEALD-D 等离子增强型原子层沉积系统

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