半导体行业专用仪器-钙钛矿光伏原子层沉积系统-嘉兴科民电子设备技术有限公司-产品详情

钙钛矿光伏原子层沉积系统

钙钛矿光伏行业原子层沉积系统

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嘉兴科民电子设备技术有限公司

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品牌：

嘉兴科民

型号：

钙钛矿光伏行业原子层沉积系统

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产品介绍

TALD数字系列及Batch系列原子层沉积系统是科民电子专门为钙钛矿传输层和Al2O3工艺开发的薄膜沉积系统。系统充分考虑钙钛矿功能层基片不耐温、尺寸大的特点，从2019年起作为独立的产品系列开始研发，经过多轮优化后拥有了高产品质量、高性价比的优点，交付数量已接近100台。

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